Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量測量儀表

高純度氣體應(yīng)用

Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量測量儀表和控制器以其*的、全金屬密封結(jié)構(gòu)為特征。除此之外，該款流量計(jì)還以其高性能、高質(zhì)量將其與市場上的其它產(chǎn)品區(qū)分開來，因此，該款儀器特別適合于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場合。質(zhì)量流量測量儀表和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。

• 小流量范圍：0.12…6 mln/min
• 大流量范圍： 1… 50 ln/min

目前市場上的儀表都內(nèi)置集成數(shù)字電路板，從而使儀表具有高精度、超穩(wěn)定的溫度以及快速的反應(yīng)時間的特點(diǎn)（可設(shè)置的時間從 t98 可以低至500 msec）。新的EL-FLOW® 設(shè)計(jì)風(fēng)格的產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，從而為客戶（OEM）提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶，布瑯軻鍶特高科技公司還提供了免費(fèi)的且方便運(yùn)用的配置軟件。

特點(diǎn)

• 精度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)
• 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無密封圈）
• 電拋光過流部件
• 無塵組裝
• 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能
• 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接：
  DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
• 無零飄（不需要零點(diǎn)自動調(diào)整電路）
• 高精度、重復(fù)性高

 Bronkhorst流量計(jì)常用型號：
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液體
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液體